ウェーハの熱を無駄にしないでください。
ウェーハを処理する際、1ワットでも無駄になると、それは単純に無駄なコストになります。さらに悪いことに、その無駄なエネルギーが原因で均一でない加熱が起こり、結果として歩留まりが低下します。
そのため、私たちは金メッキされたIR反射器を使用しています。目的は簡単です。つまり、エネルギーが機械の筐体に漏れ出すのではなく、直接ウェーハに届くようにするのです。
なぜ金なのか？
通常はアルミニウム製の反射器が使われていますが、これらは予想外に多くのエネルギーを吸収してしまいます。私たちは高精度な金層を使用します。なぜなら、金は赤外線を効果的に反射できるからです。
これは、機械を見栄え良くするためではありません。物理的な理由によるものです。金によって、赤外線光子はほとんど損失なく反射され、より集中した高密度の熱が得られます。
1ワットあたりの効果を最大化する
実際の利点は、1ワットあたりで得られる熱放射量が大幅に増えることです。金メッキされた光学部品を使用することで、ウェーハ上の熱密度が高まります。つまり、目標温度に到達するのが速くなります。電気代を節約するために出力を調整するか、1日に処理できる量を増やすためにサイクルタイムを短縮することができます。
ただし、注意点もあります。金は熱を非常に効果的に集中させるため、慎重に扱う必要があります。PIDコントローラーの設定も正確でなければなりません。センサーの性能が悪ければ、温度が過剰に上昇し、気づかないうちにウェーハが破損してしまう可能性があります。
安定した動作を維持する
良いことに、これらの反射器は、従来のIR装置の代替品としてそのまま使用できます。私たちは、熱がウェーハ全体に均等に分布するように、幾何学的形状を丁寧に設計しました。
ただ一点だけ注意してください：必ず清潔に保つことです。本当に。金の表面に指紋やほこりが付くと、ウェーハ上に「冷たい場所」ができ、歩留まりが急激に低下します。また、必ず許可された溶剤のみを使用してください。反射器から金が剥がれ落ちてしまうことのないようにしてください。