赤外線加熱と強制送風の比較：MEMSウエハを乾燥させるためのより優れた方法 もしMEMS製造ラインで働いたことがあるなら、その手順はよくわかるでしょう。ウェットエッチングや洗浄の後は、ウエハ上の水分を取り除かなければなりません。現在でも、多くの古いラインでは依然として強制送風方式が使われています。...

状況が不安定になったときでも、ファブの設備を安全に保つ方法 正直に言って、半導体ファブ内の乾燥工程というのは、とても危険な場所です。化学薬品が飛び交っており、それによって空気が可燃性になったり、最悪の場合は爆発することもあります。もし普通の赤外線ランプをその環境に使ったら、それはまさに問題を招く行...

製造現場では、少しのずれも許されません。フォトレジストの厚みが2％変動したり、微小な欠陥があっただけで、大量のウェーハが廃棄されてしまいます。熱処理の段階で、パフォーマンスが決まります。標準的なランプでは、温度分布が不均一になったり、ホットスポットが生じたり、粒子が発生したりします。必要なのは、ウ...