ウェーハの熱を無駄にしないでください。 ウェーハを処理する際、1ワットでも無駄になると、それは単純に無駄なコストになります。さらに悪いことに、その無駄なエネルギーが原因で均一でない加熱が起こり、結果として歩留まりが低下します。 そのため、私たちは金メッキされたIR反射器を使用しています。目的は簡単...

スマートファブで適切な温度管理を行うには 今日、スマートファブを構築する際には、熱の扱い方を見直す必要があります。従来の方法ではもはや十分ではありません。ウエハ処理においては、赤外線システムが利用されています。これらは、熱エネルギーを効率的に集め、正確な温度制御を実現するための重要な手段です。 「...

なぜIR硬化がウェーハ処理に適しているのか もしフабで働いたことがある人なら、対流式オーブンの問題点を知っているはずです。それは、ウェーハを適切な温度にするために、空気のあらゆる部分を加熱する巨大な装置です。これは明らかにエネルギーの無駄遣いです。 一方、赤外線（IR）硬化では、空気を加熱する代...

赤外線加熱と強制送風の比較：MEMSウエハを乾燥させるためのより優れた方法 もしMEMS製造ラインで働いたことがあるなら、その手順はよくわかるでしょう。ウェットエッチングや洗浄の後は、ウエハ上の水分を取り除かなければなりません。現在でも、多くの古いラインでは依然として強制送風方式が使われています。...

ガラスの破片が発生するのを防ぐ：ウェーハ硬化工程におけるチューブの破裂対策 高負荷の半導体製造ラインを運用している方なら、このような最悪の状況をご存知でしょう。赤外線ランプが破裂してしまうのです。 問題は、単に機械が停止するだけではありません。ガラスの破片やハロゲンの沈着物がウェーハ上に直接降り注...

無駄なエネルギーの消費をやめよう：なぜゴールド反射板を使うのか 正直に言って、ウェーハ処理においてエネルギーを無駄にするのは、単純に悪い設計です。高出力の赤外線ランプを使っていると、その熱の多くが実際には基板に当たりません。熱は側面に逃げたり、後方に反射したりして、製品ではなく施設内の空気を温めて...

製造現場では、少しのずれも許されません。フォトレジストの厚みが2％変動したり、微小な欠陥があっただけで、大量のウェーハが廃棄されてしまいます。熱処理の段階で、パフォーマンスが決まります。標準的なランプでは、温度分布が不均一になったり、ホットスポットが生じたり、粒子が発生したりします。必要なのは、ウ...