ウェーハの熱を無駄にしないでください。 ウェーハを処理する際、1ワットでも無駄になると、それは単純に無駄なコストになります。さらに悪いことに、その無駄なエネルギーが原因で均一でない加熱が起こり、結果として歩留まりが低下します。 そのため、私たちは金メッキされたIR反射器を使用しています。目的は簡単...

もう推測する必要はありません。ファブ内で正確なデータを取得しましょう。 スマートファブを構築する際、単にヒーターを設置しているだけだと思いがちです。しかし実際には、データ収集用の装置を設置しているのです。 従来の加熱装置は、基本的には何もわかりません。エネルギーを基板に送り込むだけで、その熱がどの...

赤外線加熱と強制送風の比較：MEMSウエハを乾燥させるためのより優れた方法 もしMEMS製造ラインで働いたことがあるなら、その手順はよくわかるでしょう。ウェットエッチングや洗浄の後は、ウエハ上の水分を取り除かなければなりません。現在でも、多くの古いラインでは依然として強制送風方式が使われています。...

無駄なエネルギーの消費をやめよう：なぜゴールド反射板を使うのか 正直に言って、ウェーハ処理においてエネルギーを無駄にするのは、単純に悪い設計です。高出力の赤外線ランプを使っていると、その熱の多くが実際には基板に当たりません。熱は側面に逃げたり、後方に反射したりして、製品ではなく施設内の空気を温めて...

なぜ水素センサーにはIR硬化法が使われるのか？ 水素センサーを作る際には、熱をうまくコントロールする必要があります。導電性接着剤やポリマーの設定を適切に行う必要がありますが、力を入れすぎるとセンシング要素が壊れてしまいます。まさに細心の注意が求められる作業です。 そこで私たちはIR硬化法を採用しま...