卸売用ウェハ乾燥ランプ

製造現場では、少しのずれも許されません。フォトレジストの厚みが2％変動したり、微小な欠陥があっただけで、大量のウェーハが廃棄されてしまいます。熱処理の段階で、パフォーマンスが決まります。標準的なランプでは、温度分布が不均一になったり、ホットスポットが生じたり、粒子が発生したりします。必要なのは、ウ...