ウェーハの熱を無駄にしないでください。 ウェーハを処理する際、1ワットでも無駄になると、それは単純に無駄なコストになります。さらに悪いことに、その無駄なエネルギーが原因で均一でない加熱が起こり、結果として歩留まりが低下します。 そのため、私たちは金メッキされたIR反射器を使用しています。目的は簡単...

ファブフロアでは、フォトレジストのベーク中にわずか0.5°Cのドリフトが、クリティカル寸法を仕様外に押し出し、ロット全体をスクラップにする原因となる。約束は不要である。必要なのはシフトを重ねても安定して維持される熱プラットフォームだ。 内部で重要な要素 ヒーターは短波長赤外線エミッターと石英で安定...