無駄なエネルギーの消費をやめよう：なぜゴールド反射板を使うのか
正直に言って、ウェーハ処理においてエネルギーを無駄にするのは、単純に悪い設計です。高出力の赤外線ランプを使っていると、その熱の多くが実際には基板に当たりません。熱は側面に逃げたり、後方に反射したりして、製品ではなく施設内の空気を温めてしまいます。ここで役立つのがゴールドです。
私たちがゴールドコーティングを使用するのは、赤外線エネルギーを反射する能力が最も優れているからです。まるで鏡のように、ほぼすべてのエネルギーをウェーハに直接的に伝えるのです。
重要なのは方向性です。
通常の石英ランプでは熱があちこちに散らばりますが、ゴールド反射板を使えば状況が変わります。ゴールドは98％以上の赤外線エネルギーを反射するため、集中した熱が得られます。
最良な点は、電力を増やさずともウェーハ上の熱密度を大幅に高められることです。つまり、より多くのエネルギーを無駄に投じるのではなく、既存のエネルギーを適切な方向に送るだけです。
注意すべき点もあります。
これらは厳しい環境下でも機能するように設計されています。ゴールド層は薄いですが、しっかりと固定されているため、過酷な温度変化の中でも剥がれたりしません。その結果、温度上昇の時間が大幅に短縮されます。
しかし、エネルギーの供給が強力すぎるため、注意が必要です。もしPID制御が遅かった場合、目標温度を超えてしまう可能性があります。そのため、センサーの調整が必要です。また、冷却システムを確認せずに安価な装置にこれらを使うのは避けてください。とても高温になります。本当に高温です。
実際の効果としては、
ゴールド反射板を使用すれば、目標温度に到達するために必要なランプの数が減ります。つまり、装置のサイズが小さくなります。また、室温を維持するためにHVACシステムが頑張る必要もありません。
私たちは、既存の装置に代わって使えるようにこれらを設計しました。そうすることで、処理時間を短縮できます。ウェーハ全体にわたってより安定した温度分布が得られ、しかも電力の消費も少なくて済みます。理にかなっています。