熱の無駄遣いを止めよう：なぜゴールド製反射板が重要なのか 現代のファブ施設を運営している人なら、その苦労はよくわかるでしょう。正確な温度管理が必要であり、それも迅速に行う必要があります。また、デジタルモニターを使って、実際にどうなっているかを把握する必要もあります。 問題は、一般的なIRランプは熱...

製造現場では、ご存知の通り、わずか0.5度の温度変動でも、ウェーハの寸法に影響を与えてしまいます。一方、十分な加熱が行われないと、不良品が生じてしまいます。したがって、迅速な温度制御は「望ましいもの」ではなく、必須の条件です。 私たちは、このような状況に対応するために、高速反応型の赤外線ヒーターを...