なぜ、あなたのバイオセンサー製造ラインはまだ熱風を使っているのか？ もしバイオセンサー製造工場で働いたことがあれば、その手間のかかり方はよくわかるでしょう。重要な硬化や乾燥の工程があり、これらの工程には時間がかかりすぎます。 ほとんどの工場では依然として熱風循環方式が使われています。一見すると標準...

IRランプによってクリーンルームが汚染されるのを防ぎましょう。 スマートファブを構築する際、最も小さな詳細こそが大きな問題を引き起こすことがあります。例えば、熱管理の件です。ほとんどの人は、データが乱れたり、ハードウェアに不具合が生じるまで、そのことを考えません。 問題は、従来の短波長IRランプか...

熱を無駄にしないで：なぜ金メッキされたクォーツが重要なのか 正直言って、半導体製造工場でエネルギーを無駄にすることは、単にお金を捨てるようなものです。 ファブ内のランプを点灯させると、その赤外線エネルギーの多くがウェーハに届きません。そのエネルギーはただ周囲に反射したり、後方に放出されたり、または...

バイオセンサーを常に清潔に保つ方法 もし100クラスのクリーンルームで作業しているなら、その苦労はご存知でしょう。ほんのわずかなほこりが悪い場所に付着するだけで、作成した製品全体が無価値になってしまいます。本当に嫌なことです。 実際、ほとんどの加熱要素はこうした状況では厄介な存在です。正確に温度を...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業するとき、温度は問題の半分に過ぎません。本当の問題は、空気中に浮遊する微粒です。 一般的な赤外線ヒーターは、このような環境では問題を引き起こします。電源を入れたり切ったりするたびに、微小な破片が発生してしまいます。...

ガラスの破片が発生するのを防ぐ：ウェーハ硬化工程におけるチューブの破裂対策 高負荷の半導体製造ラインを運用している方なら、このような最悪の状況をご存知でしょう。赤外線ランプが破裂してしまうのです。 問題は、単に機械が停止するだけではありません。ガラスの破片やハロゲンの沈着物がウェーハ上に直接降り注...

スマートファブでカーボンファイバー式赤外線加熱を活用する方法 インダストリー4.0向けのスマートファブを構築する際、最も重要なのは、熱をどれだけ速く移動させられるかという点です。 もし依然として従来の対流式加熱法に頼っているなら、それはまるで時間を無駄にしているようなものです。だからこそ、私たちは...

ファブのリンス工程を効果的に制御する方法 正直に言って、現代のファブでは、リンス工程が最も遅くなる部分です。ウェーハや基板から水分を素早く取り除こうとしますが、同時に汚染物質が混入するリスクも避けなければなりません。 そのため、私たちは防水型の赤外線ランプを使用しています。これらは、通常のランプで...

はじめに 工場の現場では、そのヒーティングランプは単なる部品に過ぎません。それは、生産ライン全体の「心臓部」なのです。 この交換用フィラメントは、まさにそのような厳しい環境のために作られています。目的は、日々、安定した強力な熱を供給することです。そして、大手ブランド製品と同等の性能を得られつつ、そ...

ファブラインでは、フォトレジストの焼成やウェーハの乾燥時に温度が変動することは、単なる仕様上の問題だけではありません。それによって製造プロセスが中断される可能性もあります。従来のランプでは設定値を維持しようとしますが、周囲の環境が変わると、フィルムに応力が生じたり、汚れや粒子が発生したりして、欠陥...

包装ラインにおいて、熱の均一性が失われるとフリップチップボンディングがうまく行われなくなります。アンダーフィルの硬化時に生じる冷却点や、はんだリフロー時の温度上昇は、歩留まりの低下を引き起こし、結果としてウェハレベルのコストが無駄になってしまいます。私たちは、工程内で一定の温度を維持するために、フ...

製造現場では、少しのずれも許されません。フォトレジストの厚みが2％変動したり、微小な欠陥があっただけで、大量のウェーハが廃棄されてしまいます。熱処理の段階で、パフォーマンスが決まります。標準的なランプでは、温度分布が不均一になったり、ホットスポットが生じたり、粒子が発生したりします。必要なのは、ウ...