クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業するとき、温度は問題の半分に過ぎません。本当の問題は、空気中に浮遊する微粒です。
一般的な赤外線ヒーターは、このような環境では問題を引き起こします。電源を入れたり切ったりするたびに、微小な破片が発生してしまいます。これは大変な問題です。私たちは、高純度の石英製のケースと、精密に加工されたアルミニウム製の反射板を組み合わせることで、より良い解決策を見出しました。
材料の重要性
ランプ管には高純度の合成石英を使用します。なぜでしょうか？安価なガラスの場合、時間が経つと結晶化し、微細な破片が作業面に落ちてしまいます。一方、合成石英の場合、出力を上げても熱膨張が均一に保たれます。破片が出ることもありません。純粋な熱だけが得られます。
次にアルミニウム製の反射板です。高品質で磨かれた表面を持っており、赤外線を正確に必要な場所に反射させます。そうすることで、ワークピースに熱が加わり、部屋の他の部分は冷たく保たれます。これはエネルギーをより効率的に利用する方法です。
正しいセットアップの仕方
真に清潔な状態を維持するために、一切の不要な要素を排除しました。有機系の接着剤や、溶けたりガスを放出したりする安価なプラスチックは使いません。熱に耐えられない部品は使用しません。
もう一つ重要な点は、空気の流れです。石英は固体ですが、アルミニウム製の反射板が密着しすぎると、ヒートシンクのように作用してしまいます。ランプを密集させると、ハウジングが変形するリスクがあります。十分なスペースを確保しましょう。
どのように役立つのか
半導体工場や医療用滅菌施設で働く人なら、たった一つの微粒子がウェーハや滅菌処理された製品を台無しにしてしまうことの苦労を知っているでしょう。私たちのシステムは、そのような問題を解決するのに役立ちます。空気フィルターの性能を損なう心配なく、必要な熱を得ることができます。
最後に、電源が安定していることが大切です。電源の不安定さは石英に熱ストレスを与える原因となります。私たちは、これらの装置が長期間機能し続けることを望んでいます。