ウェーハの熱を無駄にしないでください。 ウェーハを処理する際、1ワットでも無駄になると、それは単純に無駄なコストになります。さらに悪いことに、その無駄なエネルギーが原因で均一でない加熱が起こり、結果として歩留まりが低下します。 そのため、私たちは金メッキされたIR反射器を使用しています。目的は簡単...

漏れを防ぐために：なぜセラミックエンドキャップがIRエミッターにとって重要か 半導体製造施設の炭素排出量を削減したいのであれば、まずは熱管理から始める必要があります。一見簡単に思えますが、ウェーハ処理においては、無駄に消費されるエネルギーは、単純に無駄なコストやエネルギーとして失われてしまいます。...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業するとき、温度は問題の半分に過ぎません。本当の問題は、空気中に浮遊する微粒です。 一般的な赤外線ヒーターは、このような環境では問題を引き起こします。電源を入れたり切ったりするたびに、微小な破片が発生してしまいます。...