クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業するとき、温度は問題の半分に過ぎません。本当の問題は、空気中に浮遊する微粒です。 一般的な赤外線ヒーターは、このような環境では問題を引き起こします。電源を入れたり切ったりするたびに、微小な破片が発生してしまいます。...

ガラスの破片が発生するのを防ぐ：ウェーハ硬化工程におけるチューブの破裂対策 高負荷の半導体製造ラインを運用している方なら、このような最悪の状況をご存知でしょう。赤外線ランプが破裂してしまうのです。 問題は、単に機械が停止するだけではありません。ガラスの破片やハロゲンの沈着物がウェーハ上に直接降り注...