半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

なぜ半導体処理用のトロリーに赤外線加熱を採用するのか ウェーハや基板を各工程間で移動させる際、温度を安定させることが最も重要です。長い間は、単純に温風を使っていました。しかし最近では、クリーンルーム内で使用するトロリーに赤外線加熱を採用する傾向にあります。その効果は劇的です。 実際には、熱がどのよ...