高速応答型赤外線ヒーターバルブ

製造現場では、ご存知の通り、わずか0.5度の温度変動でも、ウェーハの寸法に影響を与えてしまいます。一方、十分な加熱が行われないと、不良品が生じてしまいます。したがって、迅速な温度制御は「望ましいもの」ではなく、必須の条件です。 私たちは、このような状況に対応するために、高速反応型の赤外線ヒーターを...