ウェーハ加熱時の安全距離

スマートファブで適切な温度管理を行うには 今日、スマートファブを構築する際には、熱の扱い方を見直す必要があります。従来の方法ではもはや十分ではありません。ウエハ処理においては、赤外線システムが利用されています。これらは、熱エネルギーを効率的に集め、正確な温度制御を実現するための重要な手段です。 「...