なぜ半導体処理用のトロリーに赤外線加熱を採用するのか ウェーハや基板を各工程間で移動させる際、温度を安定させることが最も重要です。長い間は、単純に温風を使っていました。しかし最近では、クリーンルーム内で使用するトロリーに赤外線加熱を採用する傾向にあります。その効果は劇的です。 実際には、熱がどのよ...

もし、半導体製造用のクリーンルーム用オーブンの設計に携わったことがあるなら、「壁が過度に熱くなる」という問題の厄介さをご存知でしょう。 これはよくある問題です。対流加熱を使って空気を温めますが、その空気は思った場所に留まりません。どこにでも当たってしまいます。すると、外側のカビネットが過度に熱くな...

スマートファブで適切な加熱を実現するには スマートファブを構築する際、従来の加熱方法、つまり単に熱風を送り込むだけではもはや不十分だと気づくでしょう。クリーンルームでは、空気の流れが問題となります。粒子が好き勝手に動いてはいけないのです。 そのため、私たちは赤外線システムを利用します。空気と戦う代...