省エネ型ウェーハヒーター

なぜIR硬化がウェーハ処理に適しているのか もしフабで働いたことがある人なら、対流式オーブンの問題点を知っているはずです。それは、ウェーハを適切な温度にするために、空気のあらゆる部分を加熱する巨大な装置です。これは明らかにエネルギーの無駄遣いです。 一方、赤外線（IR）硬化では、空気を加熱する代...