熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングされた反射器が有効なのか
半導体の加熱において、無駄に消費される1ワットは、まさにお金の無駄に他なりません。さらに悪いことに、その余分な熱が機械に悪影響を与えたり、製造プロセスを妨げたりすることもあります。だからこそ、私たちは金コーティングされた反射器を使用するのです。IRエネルギーをケース内に漏らす代わりに、それを正確にウェハーに向けて反射させるのです。
鍵は反射の仕組みにあります。
一般的な反射器では十分ですが、放射線を散乱させてしまいます。しかし金は違います。赤外線を非常に効率的に反射するので、反射器の表面を金でコーティングすることで、光子を直接基板に戻すことができます。
これにより、集中した熱ビームが生まれます。最良の点は、ランプの電圧を上げることなく、ウェハー上の熱密度を大幅に高めることができる点です。
なぜ金なのか？それは酸化しないからです。
私たちが金を使用するのは、どんなに高温になっても酸化しないからです。アルミニウムは一般的ですが、時間が経つと酸化層ができて反射率が低下します。一方、金は常に光沢を保ち、何千回ものサイクルを経ても熱の分布を安定させ続けます。
ただし、冷却機能には注意が必要です。こんなに多くのエネルギーを狭い範囲に集中させると、周囲のケースに負担がかかります。ファンや水冷装置が十分でなければ、ケースが変形したり、コネクタが損傷したりする可能性があります。冷却性能には必ず注意してください。
実際の姿はどうなのか？
これらは、既存のウェハーヒーターの代替品として設計されています。目的は、システムからより多くの「有効な」エネルギーを得ることです。
放射線の損失が少なくなるため、2つの選択肢があります。1つは電気代を削減すること、もう1つは温度上昇の速度を速めることです。スイッチを入れてからウェハーが所定の温度に達するまでの時間も短縮されます。
熱の制御が厳密になることで、焼成や硬化処理中にウェハーが破壊されることも少なくなります。これは、よりクリーンで迅速な作業方法です。