ホットプレートの代わりとなる赤外線ヒーター

リソグラフィープロセスにおいては、ソフトベイクやハードベイクを単なる「温度設定」として扱ってはいけません。これらは、フォトレジストの特性や寸法の均一性、そして最終的には歩留まりを直接決定する重要な要素です。1°Cの温度変動やホットスポット、または劣化したヒーターから飛び出す粒子などがあると、検査で...