AFM 原子間力顕微鏡 ヒーター

ファブフロアでは、熱ドリフトによってAFM計測の解像度が損なわれることがある。0.5°Cの温度変動でプローブの較正がずれ、フォトレジストのベーク履歴がクリティカルディメンション（CD）の均一性に影響を及ぼす。そこで、ウェハーレベルの温度管理を徹底するためにAFMヒーターを開発し、スキャンやベークが...