省エネ型ウェーハヒーター
なぜIR硬化がウェーハ処理に適しているのか もしフабで働いたことがある人なら、対流式オーブンの問題点を知っているはずです。それは、ウェーハを適切な温度にするために、空気のあらゆる部分を加熱する巨大な装置です。これは明らかにエネルギーの無駄遣いです。 一方、赤外線(IR)硬化では、空気を加熱する代...
省エネ型半導体ヒーティング
半導体製造におけるカーボン削減:なぜ赤外線が最適なのか
半導体を製造するには大量の熱が必要です。正直、従来の方法では莫大なエネルギーが無駄に消費されています。多くの工場では依然として、数枚のウェーハを加熱するためだけに、部屋全体を温めるような巨大な抵抗炉が使われています。まるで、ピザ1枚を温めるた...
工場乾燥工程のエネルギー診断
状況が不安定になったときでも、ファブの設備を安全に保つ方法
正直に言って、半導体ファブ内の乾燥工程というのは、とても危険な場所です。化学薬品が飛び交っており、それによって空気が可燃性になったり、最悪の場合は爆発することもあります。もし普通の赤外線ランプをその環境に使ったら、それはまさに問題を招く行...