ウェーハ処理装置用温度センサー

無駄なエネルギーの消費をやめよう：なぜゴールド反射板を使うのか 正直に言って、ウェーハ処理においてエネルギーを無駄にするのは、単純に悪い設計です。高出力の赤外線ランプを使っていると、その熱の多くが実際には基板に当たりません。熱は側面に逃げたり、後方に反射したりして、製品ではなく施設内の空気を温めて...