MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

赤外線加熱と強制送風の比較：MEMSウエハを乾燥させるためのより優れた方法 もしMEMS製造ラインで働いたことがあるなら、その手順はよくわかるでしょう。ウェットエッチングや洗浄の後は、ウエハ上の水分を取り除かなければなりません。現在でも、多くの古いラインでは依然として強制送風方式が使われています。...