ウェーハ硬化ランプ用反射器

ガラスの破片が発生するのを防ぐ：ウェーハ硬化工程におけるチューブの破裂対策 高負荷の半導体製造ラインを運用している方なら、このような最悪の状況をご存知でしょう。赤外線ランプが破裂してしまうのです。 問題は、単に機械が停止するだけではありません。ガラスの破片やハロゲンの沈着物がウェーハ上に直接降り注...