ファブのリンス工程を効果的に制御する方法
正直に言って、現代のファブでは、リンス工程が最も遅くなる部分です。ウェーハや基板から水分を素早く取り除こうとしますが、同時に汚染物質が混入するリスクも避けなければなりません。
そのため、私たちは防水型の赤外線ランプを使用しています。これらは、通常のランプでは機能しないような湿気の多い環境で使われるように特別に設計されています。必要な熱エネルギーを正確に対象物に与えることができます。
なぜ短波長の赤外線か？
それは、熱がどのように伝わるかという点にあります。短波長の放射光は、長波長の熱よりもはるかに効果的に水の層を貫通できます。
最良の点は、機械全体を加熱するのではなく、表面だけを乾燥させることができる点です。選ぶ際には、高いワット密度のものを選びましょう。そうすれば、水が熱に触れた瞬間にすぐに蒸発します。非常に迅速です。
水分を防ぎ、電力を効率的に利用する
実際、通常の赤外線ランプは水分を嫌います。水が電極に触れると、ランプは壊れてしまいます。
私たちは、短絡や錆を防ぐために、装置をしっかりと密封しています。また、スマートファクトリーを運営している場合、これらのランプはPLCで制御される電源に直接接続できます。つまり、センサーが検出した情報に基づいて、熱量を調整できるのです。何らかの理由でコンベヤーの速度が遅くなった場合でも、即座にワット数を調整できます。生産ラインが遅くなったからといって、基板が過度に加熱される心配はありません。
現実的な課題
ただし、高密度の赤外線ランプは大量の熱を放出します。防水ケースによってランプ自体は保護されますが、周囲の部品は高温になります。排気や冷却システムが十分でないと、取り付けブラケットが変形してしまいます。これは避けたい問題です。
私たちは、これらのランプを、既存のリンス装置に簡単に取り替えられるように設計しました。既存のラインを壊すことなく、デジタル制御の精度を得ることができます。これにより、より効率的に生産を行うことができます。