クリーンルーム内での加熱：クラス100のクリーンルームでの使用法 もしクラス100のクリーンルームを運用しているなら、その厳しさはご存知でしょう。わずかなほこりや、加熱時に漏れ出る微量のガスでも、製品全体が廃棄処分になってしまいます。 一般的な赤外線ランプでは、このような状況に対応できません。その...

真空チャンバーを加熱するのはやめましょう。 半導体製造に従事したことがある人なら、その苦労が分かるでしょう。ウェハーを加熱する必要がありますが、真空チャンバー全体をオーブンのようにしてしまうわけにはいきません。 通常の赤外線ランプでは、熱があちこちに散乱してしまいます。そのエネルギーの多くはウェハ...