
别再浪费能源了:为何要使用金反射器
说实话,如果在晶圆加工过程中浪费能源,那显然是一种糟糕的设计。
当使用高功率红外灯时,大部分热量并不会作用于晶圆上,而是会散失到周围或反弹回去,从而加热工作环境中的空气,而无法有效加热晶圆本身。这时,金反射器就派上用场了。
我们选择使用金涂层,因为它在反射红外能量方面表现最为出色。它就像一面镜子,能将几乎所有的热量直接照射到晶圆上。
关键在于方向控制。
普通的石英灯会将热量均匀地散播到各个方向。而通过添加金反射器,我们可以改变这一状况。由于金能反射超过98%的红外能量,因此可以形成集中的热源。
最棒的是,这样就能在不需要增加电力供应的情况下,让晶圆获得更高的温度密度。你并不是在输入更多的能量,而是将现有的能量引导到正确的方向上。
需要注意几点。
这些金反射器的结构非常坚固,虽然金层很薄,但它的粘附力很强,因此在高温环境下也不会脱落。这样一来,晶圆的加热速度就会大大提高。
不过,由于能量输出如此强烈,使用时必须格外小心。如果PID控制系统的响应速度较慢,就有可能使温度超出设定范围。此时就需要对传感器进行精确校准。另外,千万不要直接将这些部件安装在性能较差的设备上,因为其产生的热量非常高。
这对您的生产流程有何好处?
使用金反射器后,就不需要那么多灯来达到目标温度了。这样一来,设备的体积就可以缩小。此外,HVAC系统也不必那么努力地工作来保持室温。
我们设计这些产品是为了替代现有的设备,从而帮助您缩短生产周期。这样,整个晶圆上的温度分布会更稳定,而且所需的电能也更少。这显然是非常合理的。