高精度温度加热器

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤过程中温度漂移0.5°C，足以导致关键尺寸超出规格，报废整批晶圆。你不需要承诺，你需要一个能够持续稳定运行的温控平台，班班如一。 核心技术要点 加热器采用短波红外发射器和石英稳定的热核心设计。它能快速达到设定温度，并将晶圆级均匀性控制在±0.1°C以内。整套设备符合...