别再浪费能源了：为何要使用金反射器 说实话，如果在晶圆加工过程中浪费能源，那显然是一种糟糕的设计。 当使用高功率红外灯时，大部分热量并不会作用于晶圆上，而是会散失到周围或反弹回去，从而加热工作环境中的空气，而无法有效加热晶圆本身。这时，金反射器就派上用场了。 我们选择使用金涂层，因为它在反射红外能...

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤过程中温度漂移0.5°C，足以导致关键尺寸超出规格，报废整批晶圆。你不需要承诺，你需要一个能够持续稳定运行的温控平台，班班如一。 核心技术要点 加热器采用短波红外发射器和石英稳定的热核心设计。它能快速达到设定温度，并将晶圆级均匀性控制在±0.1°C以内。整套设备符合...