别再让热量白白浪费在晶圆上了 在处理晶圆的过程中，每浪费一瓦特的能量，就意味着有金钱白白流失。更糟糕的是，这种能量浪费还会导致加热不均匀，进而影响产品的良率。 因此，我们使用镀金式的红外反射器。其目的很简单：确保热量能够直接作用于晶圆上，而不是泄露到机器的机壳中。 为什么选择黄金？ 你可能习惯于使...

在智能工厂中实现理想的加热效果 如果现在要建造一座智能工厂，那么就不得不重新思考如何控制温度问题。传统的处理方式已经不再适用了。在晶圆加工过程中，我们开始采用红外技术来实现精确的加热控制。可以说，红外技术是获取热能并保持稳定温度的关键所在。 找到“最佳距离” 要找到红外发射器与晶圆之间的最佳距离其...

为何红外固化技术适合用于晶圆加工 如果您曾在芯片工厂工作过，那么您一定知道那种对流式烘箱的运作方式。其实，那些烘箱不过是巨大的盒子而已，它们通过加热空气来让晶圆达到合适的温度。不过这种方式浪费了大量能源。 而红外固化技术则完全不同。它不需要加热空气，而是直接将辐射能量传递到晶圆表面。这种方式更高效...

红外加热与强制热风干燥：更有效的MEMS晶圆干燥方式 如果您曾在MEMS工厂工作过，就知道其中的流程。在完成湿法蚀刻或清洗之后，必须去除晶圆上的水分。目前，许多旧式工厂仍然使用强制热风干燥的方式。虽然这种方法可行，但效率较低。 近年来，越来越多的工程师开始转向红外加热技术。为什么呢？因为他们已经厌...

阻止玻璃碎片飞溅：解决晶圆固化过程中的石英管破裂问题 如果你们正在运营高负荷的半导体生产线，那么你们肯定知道那种糟糕的情况——红外灯发生破裂。这不仅仅意味着机器会停止运转，更会导致严重的混乱。一旦石英管破裂，玻璃碎片和卤素沉积物就会直接落在晶圆上。只需一次破裂，整批晶圆就报废了。这真是灾难性的后果...

别再浪费能源了：为何要使用金反射器 说实话，如果在晶圆加工过程中浪费能源，那显然是一种糟糕的设计。 当使用高功率红外灯时，大部分热量并不会作用于晶圆上，而是会散失到周围或反弹回去，从而加热工作环境中的空气，而无法有效加热晶圆本身。这时，金反射器就派上用场了。 我们选择使用金涂层，因为它在反射红外能...

在芯片制造过程中，丝毫的差错都是不可容忍的。光刻胶厚度的2%变化，或者哪怕只是1微米的偏差，都可能导致整批产品报废。而热处理环节——无论是低温烘烤还是高温烘烤——则直接决定了产品的良率。标准的照明设备存在温度不均匀的问题，它们会产生热点，并且还会释放出颗粒物。因此，需要的是能够精确控制温度的照明系...