节能型晶圆加热器
为何红外固化技术适合用于晶圆加工 如果您曾在芯片工厂工作过,那么您一定知道那种对流式烘箱的运作方式。其实,那些烘箱不过是巨大的盒子而已,它们通过加热空气来让晶圆达到合适的温度。不过这种方式浪费了大量能源。
而红外固化技术则完全不同。它不需要加热空气,而是直接将辐射能量传递到晶圆表面。这种方式更高效...
工厂干燥系统的能源审计
在情况变得不稳定的时候,如何保护您的半导体制造设备?
说实话,半导体制造厂中的干燥环节其实是个非常危险的环境。那里有各种化学清洁剂,这些物质会让空气变得易燃,甚至可能引发爆炸。如果只是用普通的红外灯来处理这些问题,那无异于自找麻烦。
为了解决这个问题,我们采用了密封式设计,将热量牢牢控制在应有的范...