用于晶圆的精密红外传感器
别再让热量白白浪费在晶圆上了 在处理晶圆的过程中,每浪费一瓦特的能量,就意味着有金钱白白流失。更糟糕的是,这种能量浪费还会导致加热不均匀,进而影响产品的良率。
因此,我们使用镀金式的红外反射器。其目的很简单:确保热量能够直接作用于晶圆上,而不是泄露到机器的机壳中。
为什么选择黄金? 你可能习惯于使...
智能传感器封装红外技术
别再凭猜测来控制温度了:在工厂里获取实时数据 在建立智能工厂时,人们很容易以为自己只是在安装加热装置而已。但实际上,他们正在安装的是能够提供数据的传感器。
大多数传统的加热装置其实毫无智能可言。它们只是将能量直接施加到基材上,然后寄希望于一切顺利,却根本无法知道热量究竟是如何被吸收的。正因如此,我...
MEMS传感器晶圆干燥加热器
红外加热与强制热风干燥:更有效的MEMS晶圆干燥方式
如果您曾在MEMS工厂工作过,就知道其中的流程。在完成湿法蚀刻或清洗之后,必须去除晶圆上的水分。目前,许多旧式工厂仍然使用强制热风干燥的方式。虽然这种方法可行,但效率较低。
近年来,越来越多的工程师开始转向红外加热技术。为什么呢?因为他们已经厌...
晶圆加工设备用温度传感器
别再浪费能源了:为何要使用金反射器 说实话,如果在晶圆加工过程中浪费能源,那显然是一种糟糕的设计。
当使用高功率红外灯时,大部分热量并不会作用于晶圆上,而是会散失到周围或反弹回去,从而加热工作环境中的空气,而无法有效加热晶圆本身。这时,金反射器就派上用场了。
我们选择使用金涂层,因为它在反射红外能...
氢气传感器制造用加热器
为何我们选择红外固化技术来制造氢传感器 在制造氢传感器时,实际上是在与热量进行一场微妙的平衡游戏。我们需要精确控制导电粘合剂和聚合物的温度,但如果温度控制不当,就会损坏传感元件。这就像在钢丝绳上行走一样的危险。
因此,我们选择了红外固化技术。与其使用大型烤箱来加热,不如直接利用红外辐射来处理材料。...