MEMS传感器晶圆干燥加热器

红外加热与强制热风干燥：更有效的MEMS晶圆干燥方式 如果您曾在MEMS工厂工作过，就知道其中的流程。在完成湿法蚀刻或清洗之后，必须去除晶圆上的水分。目前，许多旧式工厂仍然使用强制热风干燥的方式。虽然这种方法可行，但效率较低。 近年来，越来越多的工程师开始转向红外加热技术。为什么呢？因为他们已经厌...