加热板替代型红外线加热器

在光刻工艺中，软烘烤和硬烘烤过程不能被视为简单的“温度控制步骤”。实际上，它们才是决定光刻胶性能、关键尺寸均匀性以及最终产品良率的关键因素。哪怕是1℃的温度偏差，或是加热器中的杂质脱落，都可能导致光刻胶表面出现瑕疵，进而影响产品的质量。因此，我们设计了红外替代加热器，通过精确的热控手段来消除这些风...