晶圆加工设备用温度传感器

别再浪费能源了：为何要使用金反射器 说实话，如果在晶圆加工过程中浪费能源，那显然是一种糟糕的设计。 当使用高功率红外灯时，大部分热量并不会作用于晶圆上，而是会散失到周围或反弹回去，从而加热工作环境中的空气，而无法有效加热晶圆本身。这时，金反射器就派上用场了。 我们选择使用金涂层，因为它在反射红外能...