别再让热量白白浪费在晶圆上了
在处理晶圆的过程中，每浪费一瓦特的能量，就意味着有金钱白白流失。更糟糕的是，这种能量浪费还会导致加热不均匀，进而影响产品的良率。
因此，我们使用镀金式的红外反射器。其目的很简单：确保热量能够直接作用于晶圆上，而不是泄露到机器的机壳中。
为什么选择黄金？
你可能习惯于使用普通的铝制反射器，但实际上，铝会吸收大量能量。我们选择黄金作为反射材料，因为黄金能更有效地反射红外线。
这并不是为了让机器看起来更漂亮，而是出于物理原理的考虑。黄金能让红外线几乎毫无损失地反射回来，从而形成更集中、更强烈的热源。
提高每瓦特的热效应
真正的好处是：每瓦特的能量所产生的热量辐射量大幅增加。通过使用镀金式光学元件，可以提升晶圆上的热流密度，这样就能更快达到目标温度。你可以选择降低功率以节省电费，或者缩短加工时间，从而在一天内完成更多工作。
不过，也有需要注意的地方。由于黄金具有极强的聚热能力，所以必须格外小心。PID控制器必须精确无误地工作。如果传感器反应迟缓，就可能导致温度控制不当，从而损坏晶圆。
保持正常运行
好消息是，这些反射器可以轻松替代现有的红外反射器。我们花了大量时间来优化其几何结构，以确保热量能均匀地分布在整个晶圆上。
只有一点需要注意：一定要保持它们的清洁。哪怕是小小的指纹或灰尘，都可能在晶圆上形成“冷点”，从而降低产品的良率。另外，请务必使用指定的溶剂，避免意外去除反射器表面的黄金涂层。