用于制造领域的红外线加热模块

在制造过程中，烘烤步骤绝非简单的预热环节，而是决定产品质量的关键步骤。即使晶圆的温度仅有半度偏差，也足以影响产品的关键尺寸，进而破坏线条宽度的控制精度。因此，我们需要的是稳定可靠的加热方式，而非那种不可靠的加热手段。 关键在于精确的温度控制 我们使用红外加热模块，能够将晶圆表面的温度控制在...