クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

もし、半導体製造用のクリーンルーム用オーブンの設計に携わったことがあるなら、「壁が過度に熱くなる」という問題の厄介さをご存知でしょう。 これはよくある問題です。対流加熱を使って空気を温めますが、その空気は思った場所に留まりません。どこにでも当たってしまいます。すると、外側のカビネットが過度に熱くな...