無駄なエネルギーの消費をやめよう：なぜゴールド反射板を使うのか 正直に言って、ウェーハ処理においてエネルギーを無駄にするのは、単純に悪い設計です。高出力の赤外線ランプを使っていると、その熱の多くが実際には基板に当たりません。熱は側面に逃げたり、後方に反射したりして、製品ではなく施設内の空気を温めて...

ファブフロアでは、フォトレジストのベーク中にわずか0.5°Cのドリフトが、クリティカル寸法を仕様外に押し出し、ロット全体をスクラップにする原因となる。約束は不要である。必要なのはシフトを重ねても安定して維持される熱プラットフォームだ。 内部で重要な要素 ヒーターは短波長赤外線エミッターと石英で安定...