制御雰囲気焼成ランプ

ファブラインでは、フォトレジストの焼成やウェーハの乾燥時に温度が変動することは、単なる仕様上の問題だけではありません。それによって製造プロセスが中断される可能性もあります。従来のランプでは設定値を維持しようとしますが、周囲の環境が変わると、フィルムに応力が生じたり、汚れや粒子が発生したりして、欠陥...