晶圆加热的安全距离

在智能工厂中实现理想的加热效果 如果现在要建造一座智能工厂，那么就不得不重新思考如何控制温度问题。传统的处理方式已经不再适用了。在晶圆加工过程中，我们开始采用红外技术来实现精确的加热控制。可以说，红外技术是获取热能并保持稳定温度的关键所在。 找到“最佳距离” 要找到红外发射器与晶圆之间的最佳距离其...