节能型晶圆加热器

为何红外固化技术适合用于晶圆加工 如果您曾在芯片工厂工作过，那么您一定知道那种对流式烘箱的运作方式。其实，那些烘箱不过是巨大的盒子而已，它们通过加热空气来让晶圆达到合适的温度。不过这种方式浪费了大量能源。 而红外固化技术则完全不同。它不需要加热空气，而是直接将辐射能量传递到晶圆表面。这种方式更高效...