保持洁净：100级洁净室中的加热问题 如果你正在运营100级洁净室，那你应该很清楚其中存在的难题。哪怕有一粒灰尘或少量气体在加热过程中泄漏出来，整个生产批次的产品就会报废。 大多数普通的红外线灯并不适合用于这种环境。因为它们的涂层容易脱落，或者当温度达到峰值时，其粘合剂会开始释放气体。这无疑会破坏...

停止为真空腔体加热而烦恼吧！ 如果你曾从事过半导体加工工作，那么你一定知道其中的难题。需要将晶圆加热到适当温度，但又不想让整个真空腔体变成一个烤箱。 普通的红外灯存在很大问题——它们会将热量散布到各个方向。大量能量会从晶圆上反射回来，然后击中腔体的内壁。很快，腔体内部就会变得非常热，甚至可能烫伤操...