真空チャンバー用赤外線ヒーター

真空チャンバーを加熱するのはやめましょう。 半導体製造に従事したことがある人なら、その苦労が分かるでしょう。ウェハーを加熱する必要がありますが、真空チャンバー全体をオーブンのようにしてしまうわけにはいきません。 通常の赤外線ランプでは、熱があちこちに散乱してしまいます。そのエネルギーの多くはウェハ...