クォーツハロゲン赤外線エミッター

300mmラインではソフトベークでの手抜きは許されない。プロファイルがたった2°Cずれるだけで、クリティカルディメンション（CD）制御がナノメートル単位でずれてしまう。このマージンは、サーマルソースがウエハー全体で±0.1°Cを維持できない場合や、パーティクル発生による突発的な予防保全が発生した場...