近赤外線 NIR エミッターバルブ

リソグラフィー現場での基本 温度の変動が数度あるだけで、クリティカルな寸法がずれたり、多くのウェハーが廃棄物になったりすることはご存知の通りです。ソフトベークとハードベークは「加熱ステップ」ではありません。これらは溶剤除去を固定し、フィルムの応力を管理し、後工程のエッチングや堆積に耐える熱的予算を...