熱を無駄にしないで：なぜ金メッキされたクォーツが重要なのか
正直言って、半導体製造工場でエネルギーを無駄にすることは、単にお金を捨てるようなものです。
ファブ内のランプを点灯させると、その赤外線エネルギーの多くがウェーハに届きません。そのエネルギーはただ周囲に反射したり、後方に放出されたり、または筐体内に散逸してしまいます。これは大変な問題です。この問題を解決するために、高純度のクォーツを使い、その表面に金をコーティングします。
なぜ金なのか？
実は、金は赤外線を反射する能力において非常に優れています。反射率は98％以上にもなります。アルミニウムや研磨された鋼鉄では、これには敵いません。
金コーティングを施すことで、通常は無駄になってしまうエネルギーを再びターゲット方向に送り返すことができます。これにより、ウェーハの表面温度を高く保つことができます。つまり、電圧を上げたり、より多くのランプを使用したりする必要がないのです。
しかし、ガラスも重要です。
シールドは単に反射するだけでなく、熱からウェーハを守る第一の防壁でもあります。私たちは高品質のクォーツを使用しているのは、極端な温度変化にも耐えられ、割れないからです。安価なクォーツは最悪です。圧力がかかると曇ったり変形したりしてしまい、結果として熱分布が乱れてしまいます。高品質のクォーツは安定しており、フィラメントを清潔に保ち、適切な波長の光だけを通過させます。
交換条件について
効率的にエネルギーを集中させると、熱密度が大幅に上昇します。金コーティングによってウェーハにかかる熱負荷が増えるため、冷却システムがその余分な熱量を処理できるかどうかが重要です。そうでなければ、ホットスポットが発生してしまいます。
もし温度上昇に時間がかかったり、加熱が均一でない場合は、単にワット数を増やせばいいと思わないでください。通常、問題はエネルギーの散乱にあるのです。金コーティングされたクォーツを使用することで、その問題を解決し、目標とする温度により迅速に到達できます。