原子力显微镜加热器

在晶圆厂车间，当热漂移引起分辨率丧失时，AFM计量可能失效。0.5°C的温度波动足以导致探针校准偏移，而光刻胶烘烤历史则可能使关键尺寸均匀性偏离。我们设计了AFM加热器，以保持晶圆级温度稳定，使您的扫描和烘烤在多班次操作中始终符合规格。 技术要点 我们在扫描区域实现晶圆级热均匀性控制在±0.1°C...