快速响应型红外线加热灯泡

在芯片制造过程中，你知道的，哪怕温度只发生变化半度，都可能影响到关键尺寸。如果延迟加热过程，那结果就是产品质量下降。因此，快速响应的红外加热器就显得非常重要——它能够在短时间内提供稳定的热量，这样晶圆、光阻以及整个生产流程才能按计划进行。 这种加热器的核心是短波红外发射器：它内部包含卤素气体，外壳...