半导体洁净室推车式加热器
我们为何选择红外线加热技术用于半导体处理设备 在深度加工过程中,将晶圆或基板从一处转移到另一处时,保持温度稳定至关重要。长期以来,我们一直使用热风来加热物体。但最近,我们开始采用红外线加热技术,其效果截然不同。 其实,关键在于热量是如何传递到被加热物体上的。
使用空气加热的弊端 以强制对流的方式加...
洁净室烤箱红外加热器
如果你曾经参与过半导体洁净室烤箱的设计工作,那么你一定知道“墙壁过热”这个难题。这是一个很常见的问题:虽然我们使用对流加热的方式来让空气变暖,但空气并不会停留在我们希望它停留的地方。它会飘到各个地方,很快,烤箱的外壁就会变得极其烫手。这不仅对安全性构成威胁,还会造成能源的浪费。
因此,我们决定不再...
洁净室红外加热器
在智能工厂中实现精准的加热控制 如果您正在规划一个智能工厂,那么您应该已经意识到:传统的加热方式——即用热风来加热物体——已经不再适用了。在洁净室里,空气中的湍流可是大敌,因为这会导致颗粒物四处飞散。
因此,我们选择使用红外线加热系统。与传统的加热方式不同,红外线可以直接将能量传递给被加热的物体。...